王谷 洋平准教授 Yohei Otani

教員紹介

研究キーワード

機能性薄膜 誘電体 半導体 電子デバイス スパッタリング

研究内容

・Ge-MIS構造の形成と特性評価
・超高真空装置を用いた非鉛強誘電体薄膜の形成
・機能性薄膜形成のための化学溶液プロセスの開発
・新奇機能性薄膜材料の探索

大掛かりな装置を使って未来の超高品質電子デバイスを作り出すことや、簡単な装置を使って未来の電子デバイスを簡単に作ることを目指して研究をしています。
特に機能性薄膜の材料選択と形成法について研究を進めています。
薄い膜を如何に上手に作るかがポイントです。
物理的・化学的な視点から物質・現象をじっくりと見つめることで、次世代電子デバイスの形成に適した材料と薄膜形成手法を提案することを目指しています。
例えば、研究室の2/3くらいを占拠している大型の超高真空装置を用いて理想的な条件下で次世代の高品質な機能性薄膜を形成することや、未来の電子デバイスを十分に整った環境でない場所でも簡単に形成することを目指しています。
究極の目標は机の上で適当に(いい加減に作っても)薄膜を作れるようにすることです。
それらを実現するためには材料の選択もとても重要な研究課題の一つです。

研究から広がる未来

半導体デバイスを中心に電子デバイスの世界は、この10年、20年で劇的な進化を遂げて来ました。 しかし、身の回りにあるものは、水や空気のように、あって当たり前のものになっているかと思います。 今の研究の先には、電子デバイスが、10年先、20年先、30年先にも、必要不可欠なものでありながら、人間に寄り添った存在、あって当たり前のものであり続け、明るい豊かな社会を支える縁の下の力持ちであり続ける未来があるような気がします。 また、電子デバイスの製造過程において、解明されていない現象やメカニズムもたくさん残されています。 未来の電子デバイスを創り出す過程で、様々な物理的・化学的現象の原理・メカニズムの解明も進んでいくのではないかと思います。 今の未知を未来には一つずつでも既知にしていきたいなと考えています。

WEBオープンキャンパス動画

当研究室のWEBオープンキャンパスの動画が見られます。

研究室の様子

研究室内には、研究室の2/3くらいを占拠している大型の超高真空装置があり、
ポンプやコンプレッサーや冷却水循環装置等が年中無休で稼働しているため、
さながら工場内に居るような感じです。
また、評価装置も多々あり、人の居住スペースは極狭で人に優しくない居住空間となっています。
研究室内での意思の疎通には、お腹から声を出す、身振り手振りも加えるということが重要です。

メッセージ

大学生だからできること、今、ここでできることを、一生懸命やってみましょう!
分からないことは、とことん考えてみる、みんなで一緒に考えてみる。
出来ないことは、諦めるのではなくて、出来るようにする。
どうしたら出来るようになるか、もがいてみるのも、やってみるときっと楽しいハズです。

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工学部機械電気工学科

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